Gr1 Gr2 Gr5 TiAl آلیاژ تیتانیوم هدف کندوپاش برای پوشش PVD

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl آلیاژ تیتانیوم هدف اسپتر کردن تیتانیوم برای پوشش PVD

​

1مواد هدف

مواد هدف مواد هدف بمباران شده توسط ذرات شارژ شده با سرعت بالا است. فلزات، آلیاژ ها، اکسید ها و غیره وجود دارد. مواد مختلف هدف (مانند آلومینیوم، مس،فولاد ضد زنگ، تیتانیوم، هدف های نیکل و غیره) ، می توانید سیستم های مختلف فیلم (مانند فیلم ضد خوردگی ضد خوردگی ضد خوردگی و غیره) را دریافت کنید.

(1) اهداف فلزی: هدف نیکل، Ni، هدف تیتانیوم، Ti، هدف روی، Zn، هدف کرومیوم، Cr، هدف منیزیم، Mg، هدف نیوبیوم، Nb، هدف قلع، Sn، هدف آلومینیوم، Al، هدف ایندیوم، Inهدف آهن، Fe، هدف آلومینیوم زرقونیوم، ZrAl، هدف آلومینیوم تیتانیوم، TiAl، هدف زرقونیوم، Zr، هدف آلومینیوم سیلیکون، AlSi، هدف سیلیکون، Si، هدف مس Cu، هدف تانتالوم T، a،هدف جرمنیوم، Ge، هدف نقره، Ag، هدف کوبالت، Co، هدف طلا، Au، هدف گادولینیوم، Gd، هدف لانتانوم، La، هدف یتریوم، Y، هدف سیریوم، Ce، هدف ولفستم، w، هدف فولاد ضد زنگ،هدف نیکل کرومیومهدف NiCr، هدف hafnium، هدف Hf، هدف molybdenum، هدف Mo، هدف آهن نیکل، هدف FeNi، هدف wolfram، هدف W و غیره.

(2) اهداف سرامیکی: هدف ITO، هدف اکسید منیزیم، هدف اکسید آهن، هدف نیترید سیلیکون، هدف کربید سیلیکون، هدف نیترید تیتانیوم، هدف اکسید کرومیوم، هدف اکسید رویهدف سولفید روی، هدف دی اکسید سیلیکون، یک هدف اکسید سیلیکون، هدف اکسید سیریوم، هدف دی اکسید زیرکونیوم، هدف پنتوکسید نیوبیوم، هدف دی اکسید تیتانیوم، هدف دی اکسید زیرکونیوم، هدف دی اکسید هافنیوم،هدف دیبورید تیتانیوم، هدف دیبورید زیرکونیوم، هدف تریکسید وولفستم، هدف اکسید آلومینیوم، اکسید تانتالوم، هدف پنتوکسید نیوبیوم، هدف فلوراید منیزیم، هدف فلوراید اتریوم، هدف سلنید روی،هدف از نیترید آلومینیومهدف از نیترید سیلیکون، هدف از نیترید بور، هدف از نیترید تیتانیوم، هدف از کربید سیلیکون، هدف از نیوبات لیتیوم، هدف از تیتانات پرزودیمیوم، هدف از تیتانات باریوم،هدف لانتانیوم تیتانیوم، هدف اکسید نیکل، هدف اسپوتینگ و غیره

2- الزامات اصلی عملکرد هدف

(1) خلوص

خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکرد هدف است، زیرا خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد فیلم دارد.الزامات خلوص مواد هدف نیز متفاوت است.به عنوان مثال، با توسعه سریع صنعت میکروالکترونیک، اندازه وافرهای سیلیکون از 6 "، 8 "به 12" افزایش یافته است و عرض سیم کشی از 0.5um به 0.25um کاهش یافته است.18um یا حتی 0.13um، خالصیت هدف قبلی 99.995٪ می تواند نیازهای فنی 0.35umIC را برآورده کند، و آماده سازی خطوط 0.18um نیاز به 99.999٪ یا حتی 99.9999٪ برای پاکی هدف دارد.

(2) محتوای ناخالصی

ناخالصی ها در جامد هدف و اکسیژن و بخار آب در منافذ، منابع اصلی آلودگی برای فیلم سپرده شده هستند.اهداف مختلف دارای الزامات متفاوتی برای محتوای ناخالصی های مختلف هستند.به عنوان مثال، هدفهای آلومینیوم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات ویژه ای برای محتوای فلزات قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.

(3) تراکم

برای کاهش منافذ در مواد جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم اسپتر شده، هدف معمولاً باید چگالی بیشتری داشته باشد.چگالي هدف نه تنها بر سرعت اسپتر شدن اثر ميکند، اما همچنین بر خواص الکتریکی و نوری فیلم تاثیر می گذارد. هرچه تراکم هدف بالاتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است. علاوه بر این،افزایش تراکم و قدرت هدف باعث می شود که هدف در طول اسپوتینگ به استرس حرارتی بهتر مقاومت کند.تراکم نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد هدف است.

(4) اندازه دانه و توزیع اندازه دانه

ماده هدف معمولاً پلی کریستال است و اندازه دانه ها می تواند در حدود میکروها تا میلی متر باشد.سرعت اسپتر شدن هدف با دانه های نازک سریع تر از هدف با دانه های ضخیم است.؛ ضخامت فلمی که با اسپتر کردن هدف با تفاوت کمی در اندازه دانه (توزع یکنواخت) قرار می گیرد، یکنواخت تر است.

3مواد

(1)تیتانیوم خالص: GR1 GR2

(2) آلیاژ تیتانیوم: تیتانیوم Gr5، تیتانیوم آلومینیوم TiAl، تیتانیوم نیکل TiNi، تیتانیوم کرومیوم TiCr، تیتانیوم زرکونیوم TiZr، مس تیتانیوم TiCu و غیره.

(3)مواد دیگر: هدف های اسپوتر زرکونیوم، هدف های اسپوتر کروم، هدف های اسپوتر تلفنزیم، هدف های اسپوتر مس و غیره

4هدف

این به طور گسترده ای در پوشش های تزئینی، پوشش های مقاوم در اثر فرسایش، CD ها و VCD ها در صنعت الکترونیک و همچنین پوشش های مختلف دیسک های مغناطیسی استفاده می شود.

فیلم های تولفستم تیتانیوم (W-Ti) و فیلم های آلیاژ مبتنی بر تولفستم تیتانیوم (W-Ti) فیلم های آلیاژ با دمای بالا با مجموعه ای از خواص عالی غیر قابل جایگزینی هستند.ولتفستم دارای خواص مانند نقطه ذوب بالا است، قدرت بالا و ضریب گسترش حرارتی پایین است. آلیاژ W / Ti دارای ضریب مقاومت پایین، ثبات حرارتی خوب و مقاومت اکسیداسیون است.مانند دستگاه های مختلف نیاز به سیم کشی فلزی که نقش رسانا بازی می کند، مانند Al، Cu و Ag به طور گسترده ای مورد استفاده و تحقیق قرار گرفته است. با این حال، فلز سیم خود را به راحتی اکسید می شود، با محیط اطراف واکنش نشان می دهد،و چسبندگی ضعیف به لایه دی الکتریک دارد. این به راحتی به مواد زیربنایی دستگاه هایی مانند Si و SiO2 منتشر می شود و در دمای پایین تر فلز و Si را تشکیل می دهد. ترکیبات، که به عنوان ناخالصی عمل می کنند،عملکرد دستگاه را به شدت کاهش می دهد.آلیاژ W-Ti به دلیل خواص ترمو مکانیکی پایدار، تحرک الکترون کم، مقاومت بالای خوردگی و ثبات شیمیایی، به راحتی به عنوان یک مانع پخش سیم کشی استفاده می شود.به خصوص برای استفاده در محیط های با جریان بالا و دمای بالا مناسب است..

تصاویر دقیق

کارخانه

بسته بندی و تحویل:

مواد هدف را با پنبه مروارید پیچیده و در یک جعبه چوبی قرار دهید. روش بسته بندی منطقی ما می تواند از برخورد مواد هدف در طول حمل و نقل جلوگیری کند.و همچنین می تواند از تاثیر کالاهای خارجی بر محصول جلوگیری کند، و اطمینان حاصل کنید که محصول پس از تحویل تحویل داده می شود.

- - - - - - - -بسته بندی مهر و موم شده، سپس در جعبه کارتن یا جعبه پلاکت استاندارد قرار داده می شود.

---2با استفاده از کارتونی منحصر به فرد با لوگو مشتری، هر بسته بندی فردی، برای کمک به خریداران فروش مستقیم.

---تطلبات مشتری را بپذیرید

مطمئن شوید که هر بسته برای شما سفارشی شده است.مطمئن بشيد که وقتي که کالا رو گرفتيد آسيب ديده نيست.